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上海添時科學(xué)儀器有限公司

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當(dāng)前位置:上海添時科學(xué)儀器有限公司>>雷博科學(xué)儀器>>工業(yè)半導(dǎo)體設(shè)備>> SH200勻烤膠一體機(jī)

勻烤膠一體機(jī)

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號:SH200

品       牌:其他品牌

廠商性質(zhì):代理商

所  在  地:上海市

更新時間:2025-07-06 20:14:02瀏覽次數(shù):2580次

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工 旋轉(zhuǎn)速度范圍 20-5000rpm(可選最大10000rpm
加速度范圍 20-20000rpm/s 轉(zhuǎn)速精度 ±1rpm
光刻膠嘴數(shù)量 ≤4路 勻膠工藝配方 ≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù) 控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1% 設(shè)備尺寸 1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)
勻烤膠一體機(jī)
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)
可選配置空氣凈化單元(FFU)

勻烤膠一體機(jī)

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機(jī)交互界面,實(shí)時顯示設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo)
可選配置空氣凈化單元(FFU)

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選最大10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

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